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半導體濕法工藝中的閥門應用

作者: 2021年02月05日 來源: 瀏覽量:
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蝕刻(Etch)是半導體加工中非常重要的一環,一般分為干法蝕刻和濕法蝕刻,其中濕法蝕刻涉及具有腐蝕性的化學藥液和高純水,對于介質流經的管路閥門等有較高標準的規定。

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